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電子級超純水中國國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T11446.1-1997）
2013-09-02 13:43:13 來源： 點擊：
電子級超純水中國國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T11446.1-1997）
|
項目
級別
|
比電阻 MΩ.cm@25℃
|
硅 ≤ μg/L
|
>1μm微粒數(shù) < 個/ml
|
細(xì)菌個數(shù)< 個/ml
|
銅≤μg/L
|
鋅≤μg/L
|
鎳≤μg/L
|
鈉≤μg/L
|
鉀 ≤ g/L
|
氧≤ μg/L
|
硝酸根≤
μg/L |
磷酸根≤
μg/L |
硫酸根 ≤μg/L
|
總有機(jī)碳≤μg/L
|
|
EW-Ⅰ
|
18（95%的時間不低于17）
|
2
|
0.1
|
0.001
|
0.2
|
0.2
|
0.1
|
0.5
|
0.5
|
1
|
1
|
1
|
1
|
20
|
|
EW-Ⅱ
|
15（95%的時間不低于13）
|
10
|
5
|
0.1
|
1
|
1
|
1
|
2
|
2
|
1
|
1
|
1
|
1
|
100
|